氣流目檢的目的是確認(rèn)潔凈室或設(shè)施中氣流的空間與時間特性，這是整個測試程序的組成部分。為了有效的稀釋或排替室內(nèi)空氣的懸浮污染物，從而防止室內(nèi)的污染積累，以維持其所需的潔凈度。因此，室內(nèi)合理的氣流流型，以及充分的氣流流動至關(guān)重要。
為保證關(guān)鍵區(qū)域達(dá)到潔凈的水平，希望送風(fēng)直接來自高效過濾器出風(fēng)口，但設(shè)備、照明燈具所產(chǎn)生的熱量有可能干擾氣流，障礙物會妨礙送風(fēng)進(jìn)入關(guān)鍵區(qū)；障礙物或工藝設(shè)備的外形，可使單向流變成紊流等。通過目檢氣流的運(yùn)動狀況，可以發(fā)現(xiàn)是否存在上述相關(guān)情況，可以發(fā)現(xiàn)在哪些部位形成了渦流，不利于污染物排除。
1、氣流目檢的方法
可用以下3種方法進(jìn)行氣流目檢：
（1）示蹤線法
（2）示蹤劑注入法
（3）用圖像處理技術(shù)檢測氣流的方法
前兩種方法實際上是用置于流場的纖維示蹤，或利用引入流場的示蹤微粒物質(zhì)來目檢潔凈室或潔凈設(shè)施中氣流的流向。用攝像機(jī)、化學(xué)膜、磁盤或磁帶記錄下各不同位置氣流的分布圖。
目檢中所采用的纖維示蹤線或示蹤微粒應(yīng)對潔凈室無污染，同時能確切的跟隨、反映氣流的流線。
第三種方法適用于要求量化潔凈室或設(shè)施內(nèi)氣流速度分布的情況，這種方法是基于示蹤粒子的計算機(jī)圖像處理技術(shù)，對檢測設(shè)備的要求較高。
2、氣流目檢的操作
無論采用何種方法，在檢測中都要格外注意防止操作者干擾正在進(jìn)行考察的氣流。具體操作方法如下：
（1）示蹤線法
通常把單根尼龍纖維、絲線或塑料薄膜帶等輕柔物質(zhì)固定在支撐桿的尖頂，并將其置于氣流中或綁扎在處于氣流中的細(xì)鋼絲網(wǎng)格的交叉點(diǎn)處，以觀察氣流的方向和因干擾引起的氣流波動。為觀察方便、清晰，較強(qiáng)的照明是必要的。
（2）示蹤劑注入法
通常采用的示蹤材料如去離子水，噴霧法或化學(xué)法生成乙醇/正二醇等材料的示蹤粒子。要求示蹤劑對環(huán)境，特別是對潔凈室及設(shè)備表面無污染，同時便于形成合適的粒子尺寸。過小液滴尺寸不利于圖像處理技術(shù)的圖像質(zhì)量，過大的液滴尺寸又可能在運(yùn)動過程中受重力和其他力作用的影響而偏離氣流流線。測試中靠高強(qiáng)度光源在隨氣流運(yùn)動的示蹤粒子表面形成的反射，便于測試者用眼睛觀察或用設(shè)備形成圖像，來判定氣流的方向和均勻性。
（3）用圖像處理技術(shù)檢測氣流的方法
采用上述示蹤劑注入法得到的在攝像機(jī)或膜上的粒子圖像數(shù)據(jù)，用配置有適用接口的計算機(jī)，通過記錄相關(guān)資料數(shù)字的處理軟件，在計算機(jī)屏幕上可觀看氣流特性，還在所觀測氣流中可輔以激光光源等裝置以提高其空間分辨率。
3、關(guān)于氣流流型的測點(diǎn)布置
ISO 14644等相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)對測點(diǎn)布置未作規(guī)定，建議由用戶與供應(yīng)商協(xié)商，選擇測量點(diǎn)的數(shù)目和位置，測試點(diǎn)或平面位置定在臨界工作平面內(nèi)。如果要評估氣流方向的均勻性，則宜選擇較多的測點(diǎn)。因此，一般由測試單位按常規(guī)提出方案，征得用戶和供應(yīng)商、承包商認(rèn)同即可。
國內(nèi)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JGJ71-90《潔凈室施工及驗收規(guī)范》中，作了如下規(guī)定：
（1）垂直單向流潔凈室選擇縱、橫剖面各1個，以及距地面高度0.8m、1.5m的水平面各1個；水平單向流潔凈室選擇縱剖面和工作區(qū)高度水平面各1個，以及距送、回風(fēng)墻面0.5m和房間中心處3個橫剖面。所有面上的測點(diǎn)間距均為0.2～1m。
（2）亂流潔凈室選擇通過代表性送風(fēng)口中心的縱、橫剖面和工作區(qū)高度的水平面各1個。剖面上測點(diǎn)間距為0.2～0.5m，水平面上測點(diǎn)間距為0.5～1m，兩個風(fēng)口之間的中心線上應(yīng)有測點(diǎn)。
4、測試報告
按照用戶與供應(yīng)商、承包商的協(xié)議，在報告中應(yīng)提供以下資料和數(shù)據(jù)：
（1）測試單位的名稱、通信資料，測試人姓名、測試日期；
（2）所測潔凈室或設(shè)施名稱及毗鄰區(qū)域的名稱、測試點(diǎn)坐標(biāo)；
（3）參照的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)編號、版本日期、的性能標(biāo)準(zhǔn)及潔凈室所處狀態(tài)；
（4）由雙方認(rèn)可的、所采用的測試方法與常規(guī)方法不同之處或特殊條件；
（5）測試儀器的名稱及其校準(zhǔn)狀態(tài)；
（6）測試類型、目檢方法和測試條件；
（7）目檢點(diǎn)位置；
（8）按規(guī)定記錄的圖像，采用圖像處理技術(shù)或速度分布測量時，各次測量的原始數(shù)據(jù)。